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高真空制程腔体返油污染难根治?选对 PFPE 氟油是关键

发布:广东全氟王润滑科技有限公司 时间:2026-09-19

半导体、精密光学、科研超高真空设备对润滑介质有着严苛要求:油品一旦挥发释气,极易污染晶圆、光学镜片与真空腔体,造成良率下滑、设备频繁停机。普通合成油在高真空、腐蚀性工艺气体环境下快速失效,而全氟王 P-TORR 6301 全氟聚醚氟油,就是针对高真空洁净工况开发的高性能 PFPE 真空氟油。

全氟王 P-TORR 6301 以高纯全氟聚醚(PFPE)为基础油,分子仅含碳、氟、氧元素,无活泼氢,化学性质高度稳定,千级无尘车间过滤生产,严控微粒子含量,满足洁净室使用标准。

P-TORR 6301氟油介绍 (1)

✅ 全氟王 P-TORR 6301 核心性能优势

· 极低饱和蒸气压,低释气低挥发 高粘度配方,真空环境下挥发损失极小,有效抑制油雾返流,减少腔体污染,保护晶圆、光学元件,降低制程缺陷风险。

· 优异化学惰性,耐受强腐蚀介质 耐卤素、强酸、强氧化剂、等离子体工艺气体,不与活性气体发生反应,无闪点、不可燃,富氧与高危腐蚀真空系统可安全运行。

· 宽温域稳定,高低温性能均衡 在宽温度区间内保持稳定粘度,低温不易凝固,高温不易分解结焦,长效油膜保护精密轴承、真空阀门、转轴部件。

· 材料兼容性优秀 与金属、氟橡胶、PEEK、工程塑料相容,不会造成密封件溶胀、老化,适配真空机组、密封组件长期连续运转。

· 低颗粒析出,洁净室友好 多级超滤提纯工艺,杂质含量低,满足半导体、光学、航天精密真空部件的低颗粒要求。

P-TORR 6301氟油介绍 (2)

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