一、产品概述

产品名称：全氟王 P-Fluorovac 9704 高纯 PFPE 真空润滑流体
品牌：全氟王（PFPE KING®）
产品定位：P-Fluorovac 9704 专为高真空涡轮分子泵、半导体真空设备开发，1:1 直接替换原厂油品，无需改动设备油路、无需调整运行参数，可直接加注混用替换。
本品采用高纯度线型全氟聚醚（PFPE）基础油精制而成，不含添加剂、低析出、低放气，完美匹配真空腔体、分子泵严苛洁净工况，解决腐蚀工艺气体、高温长期运行、真空返流污染等痛点。

二、核心理化性能指标

三、产品核心优势

1. 1:1 完全互换替代P-Fluorovac 9704 粘度、蒸气压、温域特性与原装油品高度匹配，新旧油可直接替换加注，停机换油或在线更换均可，无需工艺验证整改。

2. 超低挥发、低真空返流深度精馏去除轻质组分，高真空工况下油雾返流少，避免晶圆、光学元件、精密腔体污染，降低不良率。

3. 超强化学惰性分子结构仅含 C-F-O，无活泼碳氢键，接触蚀刻、沉积等腐蚀性工艺气体不会分解、碳化、产生油泥，延长真空泵保养周期。

4. 宽温稳定、长效润滑低温启动顺畅不凝固；持续高温运行不易裂解积碳，减少频繁换油频次，降低运维成本。

5. 供应链稳定、交付可控全氟王国内工厂量产，常备现货，规避进口货期长、价格波动、断供风险，支持试样测试、批量稳定供货。

四、典型应用场景

✅ 涡轮分子真空泵、复合分子泵专用真空工作液
✅ 半导体 PVD/CVD、刻蚀设备真空机组
✅ 镀膜设备、光学真空腔体、质谱分析仪器
✅ 接触腐蚀性气体、氧化性介质的真空系统
✅ 科研实验室高真空设备、洁净室真空动力单元

五、使用说明

1. 替换操作：排空原有油品，建议清洁泵腔后加注 P-Fluorovac 9704；应急工况可直接补油逐步完成替换。

2. 储存条件：密封避光常温存放，避免水汽、粉尘混入；严禁与烃类润滑油、酯类油品混合。

3. 包装规格：1L / 罐、5L / 桶、20L / 桶（可按需定制分装）。